1955年，成立精密仪器专业。
1956年，成立电磁测量技术专业。
1956年，公差仪器零件教研室成立，培养出国内第一批精密仪器专业研究生和本科生。
1959年，成立工业自动化仪表专业。
1962年，成立电子仪器及测量技术专业。
1998年，自动化测试与控制系成立，原精密仪器、自动化仪表与控制系统、电磁测量和电子测量4个专业合并成立测控技术与仪器专业。
1998年，仪器科学与技术学科成为全国首批按一级学科培养和授予博士学位的学科点。
1999年，公差实验室和仪器零件实验室合并，组建了公差与仪器零件实验室。
2001年，仪器科学与技术一级学科被评为国家重点学科。
2003年，成立光电信息工程专业，是我国首批成立的光电信息工程专业(现教育部更名为光电信息科学与工程)。
2003年，原精密仪器、自动化仪表与控制系统、电磁测量和电子测量4个专业实验室合并，组建测量技术与仪器实验中心。
2005年，光电信息实验中心成立。
2013年，测控实验中心入选工信部实验教学示范中心。
2014年，测控技术与仪器专业通过国际工程教育专业认证。
2018年，成立仪器科学与工程学院，精密仪器专业招生。
