实验室概况：
本重点实验室紧密围绕精密测量技术与仪器工程，系统地开展新原理探索、应用基础研究、关键技术攻关、仪器和装备集成等全过程系统创新研究，是我国从事超精密测量技术与仪器研究的重要基地。近年来瞄准国家重大战略需求、国家重大工程建设，承担如国家科技重大专项（极大规模集成电路制造工艺装备）、国家重大科学仪器设备开发专项、国家重大科技基础设施（大科学工程）等国家重大/重点工程项目/课题，在超精密仪器领域取得多项技术突破，为我国高端装备制造和航天、国防高层次人才培养发挥了重大作用。2007年，谭久彬院士团队被评为首批“部委科技创新团队”，2019年，谭久彬院士团队获批黑龙江省首批“头雁”团队。科研经费累计超过4.0亿元。授权国际发明专利（美国、英国、德国、日本等）近30项，获得中国发明专利300余项，制定国家、行业和地方标准27项；获得国家技术发明奖一等奖1项，国家技术发明奖二等奖2项。
实验室主任和学术带头人：
实验室主任和学术带头人谭久彬院士，任哈工大精密仪器工程研究院院长。兼任国家计量战略专家咨询委员会委员，国际测量与仪器委员会（ICMI）常务委员等。一直从事精密测量与仪器工程的科研与人才培养工作，致力于高端装备制造中的超精密测量与仪器工程研究，提出多模复合运动基准方法、多轴运动基准误差分离方法和主动负刚度隔微振方法等。研制成功4种国家级计量标准装置和21种大型超精密测量仪器和超大型超精密测试装备，精度水平达到国际前列地位。解决了中国30余种高端/尖端装备研制生产中的超精密测量难题，推动了该类装备性能的提升。建成国内第一个超精密仪器研发基地和产业化基地。以第一获奖人获国家技术发明一等奖1项（2006年）、二等奖2项、国家科技进步奖三等奖1项；获授权中外发明专利132项（国际发明专利21项）；制定标准26项；发表SCI、EI检索论文310余篇，出版专著3部。2017年当选中国工程院院士。
地位和作用：
本重点实验室所在学科是首批国家重点一级学科。在全国同类学科专业中建立最早、历史最长、起点最高，为我国仪器领域培养了第一批学科带头人和技术领军人才。所在专业是首批国家一级学科博士学位授权点、首批博士后流动站。实验室设有国防工业超精密加工技术研究应用中心，国家重大仪器技术创新引智基地，以及以英国牛津大学和德国联邦物理研究院（PTB）为代表的海外学术基地等。有国际著名大学与研究机构的院士、首席科学家和著名专家12人在仪器学科担任荣誉教授或客座教授。
依托重点实验室，学科综合实力与水平不断提升，在高精尖仪器技术领域不断取得具有国际先进水平的重大研究成果，推动了我国高端精密仪器与高端装备的发展；培养了一大批创新领军人才，引领了我国高精尖仪器技术的发展。已经成为仪器领域的领军学科之一，而且在国际仪器领域形成重要影响力，在国际软科世界一流学科排名中，哈工大仪器学科在2017和2021年度连续5年排名世界第一。
2018年获批超精密仪器及智能化工信部重点实验室。
