仪器名称：双盘研磨及自动用酸开封集成系统 厂家：美国RKD 型号：Elite Etch 7000 联系人：刘超铭 电话：15636058860 地点：科学园B1栋415室

主要规格及技术参数

1.研磨方式：研磨盘加磨料研磨样品，抛光盘贴砂纸的方式研磨样品

2.双盘设计，可以同时对多个样品一起进行研磨

3.转向：顺时针，逆时针

4.温度可控范围：20℃~250℃

5.刻蚀模式：脉冲式和往复式

6.刻蚀时间：1S~1800s

7.酸的选择：发烟硝酸，硫酸或发烟硫酸，混酸

8.混酸比例：9:1,5:1,4:1,3:1,2:1,1:1（硝酸到硫酸比例）

9.刻蚀流量选择：1-6ml每分钟

主要功能及特色

双盘研磨及用酸开封系统主要用于器件试验前的开帽流程，采用物理研磨方法对陶瓷等耐酸碱的封装材料进行开帽，采用酸和加热对金属，塑料等封装材料进行腐蚀。此系统为测试和分析器件的前期处理设备。